製品&サービス
 
 
HOME > 製品・サービス > MemsONE  製品構成と価格
 
 

spacer spacer spacer
 
MemsONE 製品構成と価格

 
  MemsONE 製品構成
 
  −■MemsONE  製品体系−
 
  カテゴリ MemsONE
スタンダード ライト
  ライセンス期間   1年   無期限   1年
  バージョンアップ   あり   5年目以降は費用発生   なし
  FEMの接点数   制限なし   制限なし   3,000まで       ※ 詳細>>
  プロセス解析   制限なし   制限なし   4プロセスまで ※ 詳細>>
 
  1.MemsONE 機構解析
MEMSの設計・解析に必要な構造・機構・電磁場・熱伝導などの基本的な数値解析を有し、材料・プロセスデータベースから解析に必要なデータをユーザが容易に取り出し利用することが可能な解析システムです。さらに、外部解析システムや設計システムのデータを利用することも容易です。
 
 ・力学解析
  弾塑性解析
  熱弾塑性解析
  振動モード解析
  調和応答解析
  時刻歴応答解析
 ・電磁界解析
  電解解析
  非線形静磁界解析
  非線形過渡磁界解析
  線形交流磁界解析
  非線形定時間周期磁界解析
  電流解析(固定時刻)
  電流解析(線形交流解析)
  周波数応答磁界解析
 ・圧電解析
 ・熱伝導解析
 ・雰囲気流体解析
 ・連成解析
  熱弾塑性解析と熱伝導解析
  弾塑性解析と電界解析
  弾塑性解析と非線形静磁界解析
 ・接合解析
  応力履歴継承解析
  温度履歴継承解析
  接合強度解析
  材料親和性解析
  疲労評価解析
 
  2.MemsONE プロセス解析
材料・プロセスデータベース、知識データベースとの連携により、利用者が安心して設計・解析できる環境を提供し、MEMSプロセスシミュレータもしくはエミュレータによりMEMS加工構造を実現し、総合的に検証、評価するシステムです。

個々のプロセスだけでなく、プロセス全体を通した温度変化を基に機構解析シミュレータの熱応力解析や熱伝導解析機能を利用した温度履歴解析も可能です。
 

【MemsONEで定義できるプロセス例】

 
  3.MemsONE ウェットエッチング解析シミュレータ
 ・異方性ウェットエッチング解析シミュレータ
エッチング形状の過渡変化を検討できます。
コーナー補償パターンの検討ができます。
マルチプロセスエミュレータや機構解析シミュレータで解析結果を利用できます。
(100)、(110)、(111)ウェハに対応しています。
エッチングレートデータとしてKOH40℃、40wt%が登録されています。
エッチングレートデータの追加が可能です。
 
  4.MemsONE プロセス逆問題
MEMS構造体形状から、その加工プロセスを解析により導出し、加工用マスク形状を求める解析ソフトです。MEMS設計技術者の設計ノウハウと実験的に採取したプロセスデータを組み込み、ノウハウを持たないプロセス設計者にその道筋をガイダンスし、センサ、光デバイス、RFデバイスなどのMEMSデバイス製作におけるプロセスとマスクを容易に設計できるようにするMEMS開発支援ツールです。
  プロセス逆問題解析
 
  5.MemsONE ナノインプリント

 −機能−

熱および光を利用したナノインプリント加工を解析する機能です。
光ナノインプリント加工を解析するには力学系解析が必要で、光ナノインプリント加工は光を電磁波として解析する高周波の電磁波解析(FDTD法を採用)が必要です。
本シミュレータは、これらの解析機能を有しています。

 −特徴−

□樹脂の粘弾性解析により、経時変化をともなう樹脂の変形を解析。
□熱膨張・収縮を考慮した解析により、金型との相互作用を解明。 また、摩擦の影響も考慮。
□光照射時の強度分析を電磁波解析で求める。

光ナノインプリント 熱ナノインプリント 電磁波解析
 
  6.MemsONE MEMS回路シミュレータ
電子回路シミュレーションの手法を基に、従来の電気的自由度だけでなく、機械的自由度も扱えるように拡張した、汎用的なシミュレータで、MEMSと電子回路の集積化による動作を予測することが可能です。
  MEMS回路シミュレータ
 
  ※  フレームワークソフトは、購入商品に必要な機能が装備されます。
           材料・プロセスDBは、全ての商品に装備されます。
 
  MemsONE 価格
販売元は、みずほ情報総研株式会社となっています。

 ■価格お問合せ先:
    みずほ情報総研株式会社  サイエンスソリューション部
    酒井 俊行、浅海 和雄
    電話: 03-5281-5303     E-mail: ss-mems1@mizuho-ir.co.jp