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MemsONE 良くある質問

 
  MemsONE 機能解析
 
  Q 連成解析はできますか?

  A ・熱弾塑性解析と熱伝導解析
・弾塑性解析と電界解析
・弾塑性解析と非線形静磁界解析
  ができます。
     
  Q 機構解析の中の電界解析を使って、接近平板の間を流れる電流の過渡応答を見ることは可能でしょうか?

  A 電界解析の解析結果物理量は
・電界ポテンシャル
・電界ベクトル
・静電力
・静電力の積分値(デバイス全体)
で、電流の過渡応答結果は、見ることができません。
     
  Q 機構解析において例えばプロセス解析で生成されたモデルを使用した場合構造体を付加することは可能でしょうか。

  A プロセス解析で生成されたモデルは、MemsONEにてモデリングしたものとまったく同じです。  したがって、構造データの追加や、集合演算など、自由に出来ます。
 
  MemsONE プロセス解析
 
  Q プロセスがないときのモデル作成方法は?

  A CADでモデルを作成いただき解析にかけて頂くことになります。
     
  Q プロセスモジュールとウェットエッチングモジュールでできるの違いは?

  A プロセスモジュールは、エッチングの深さ等をGUI入力項目として指示する簡易シミュレーション機能です。
エッチングモジュールは、ウェハ条件やエッチング時間などの製造方法に即したより詳細なシミュレーション機能です。
リーフフレット(プロセス解析、ウェットエッチング)もご参考にしてください。
 
  MemsONE ナノプリント解析
 
  Q FDTDの電磁波解析は、ナノインプリント・シミュレーションの一機能として提供されていますが、 構造体の変形前・変形後の光学反射や光導波シミュレーションとして 使用することは出来るでしょうか? それとも、ナノインプリントに特化したものと考えた方が良いでしょうか?

  A 電磁波解析ソフトは、ナノインプリントに特化した解析ではなく、FDTD法により、
・給電点や観測点における、電流・電圧
・周波数領域/時間領域での電磁界・電流分布
・入力インピーダンス、リターンロス
・放射パターン
を計算結果として出力します。
また、(現状では)光反射や光導波を直接解析する機能は、ありません。
 
  MemsONE 材料DB・知識DB
 
  Q DBの利用が可能か?

  A 材料DBが提供されますので、解析条件として取り込むことが可能です。
     
  Q 材料・プロセスDBはどれくらい入っていますか。

  A 材料・プロセスDB材料種類別の物性値やプロセスパラメータが登録されており、解析ソフトの条件設定時に参照・取り込みが可能です。

2008年4月現在
・材料の種類=約70種類
・材料の種類別の個別材料名=〜10程度
・特性値の種類=約60種類
・プロセスの種類=約60種類
が登録されています。